一、PVD涂層(ceng)制備(bei)過程中的常見外(wai)表(biao)缺點
1、大液滴(di)
是(shi)PVD涂層(ceng)制備過程(cheng)中，高能離子轟擊(ji)靶材(cai)獲得(de)高堆積功率工況下的(de)(de)典型(xing)缺(que)點，一般顆粒的(de)(de)三(san)維(wei)尺度比較均(jun)勻，大于1.5um，是(shi)嚴重影響(xiang)刀(dao)具(ju)(ju)加工精度的(de)(de)涂層(ceng)缺(que)點，對刀(dao)具(ju)(ju)的(de)(de)重復定位精度和加工件的(de)(de)外表質量有影響(xiang)。
2、結瘤與片狀凸出
是由(you)于真空室內的(de)顆粒(li)或者基(ji)體(ti)外表的(de)顆粒(li)在(zai)涂層(ceng)堆積(ji)曾經附著在(zai)基(ji)體(ti)外表，跟著堆積(ji)存在(zai)于涂層(ceng)當中(zhong)，往(wang)往(wang)是較為松軟的(de)涂層(ceng)缺(que)點(dian)，缺(que)點(dian)的(de)面(mian)積(ji)尺(chi)度往(wang)往(wang)大大的(de)大于高度，在(zai)運用中(zhong)易于剝落。
3、空泛或盤形坑(keng)
PVD涂(tu)層中存在與涂(tu)層的結合不牢的外來顆粒(li)在高應力效果下進行(xing)自(zi)發(fa)掉落，構成空(kong)泛缺點；基(ji)體之間存在污染，在真空(kong)室冷(leng)卻(que)時(shi)由于熱應力效果而(er)掉落構成盤形(xing)坑(keng)或露出基(ji)體缺點。
4、針孔或(huo)氣泡
當基體(ti)(ti)外(wai)(wai)表存在(zai)狹窄的凹(ao)坑(keng)時(shi)，涂(tu)層(ceng)堆積過程中在(zai)凹(ao)坑(keng)邊優先(xian)生長，逐漸構(gou)成(cheng)涂(tu)層(ceng)針(zhen)孔缺(que)點(dian)，而進行外(wai)(wai)表拋(pao)光處(chu)理時(shi)，這種缺(que)點(dian)外(wai)(wai)表一(yi)層(ceng)薄薄的涂(tu)層(ceng)被磨掉，露出(chu)出(chu)來。氣(qi)泡是100-400nm微(wei)顆粒，真空室內構(gou)成(cheng)片狀(zhuang)，當他們穿過等離(li)子體(ti)(ti)時(shi)能夠得到電(dian)荷，這種離(li)子能夠到達基體(ti)(ti)外(wai)(wai)表，并且在(zai)電(dian)荷的效果下被固定在(zai)基體(ti)(ti)外(wai)(wai)表，堆積過程中構(gou)成(cheng)氣(qi)泡式缺(que)點(dian)。
二、處(chu)理(li)PVD涂層外表缺點的常用辦法
1、真空拋光處
真(zhen)空腔體以及內部(bu)部(bu)件的氣體放出(chu)量，和(he)材料的外(wai)表(biao)(biao)積直(zhi)接相關(guan)。固體外(wai)表(biao)(biao)的原子(zi)密度(du)大(da)(da)約為2×1019 m-2，考慮到(dao)外(wai)表(biao)(biao)的高低不(bu)平，實(shi)踐的固體外(wai)表(biao)(biao)會吸附大(da)(da)量的氣體分子(zi)。通過拋光使外(wai)表(biao)(biao)更(geng)加(jia)平坦，能夠大(da)(da)大(da)(da)減小外(wai)表(biao)(biao)積，從而削(xue)減外(wai)表(biao)(biao)吸附的氣體分子(zi)。拋光主要有玻(bo)璃(li)丸噴砂和(he)電解拋光兩種手法。
2、超聲波清洗
超(chao)聲(sheng)(sheng)波(bo)(bo)清洗(xi)是使用(yong)(yong)超(chao)聲(sheng)(sheng)波(bo)(bo)在(zai)(zai)液(ye)(ye)體(ti)中的(de)空化效(xiao)(xiao)(xiao)果、加速度效(xiao)(xiao)(xiao)果及直進流效(xiao)(xiao)(xiao)果對液(ye)(ye)體(ti)和污物直接、直接的(de)效(xiao)(xiao)(xiao)果，使污物層被渙散、乳化、剝離而到(dao)達清洗(xi)意圖。向液(ye)(ye)體(ti)導入超(chao)聲(sheng)(sheng)波(bo)(bo)后，液(ye)(ye)體(ti)的(de)激烈運動使局(ju)部(bu)發(fa)(fa)生(sheng)壓強(qiang)差(cha)。壓強(qiang)低的(de)部(bu)分會發(fa)(fa)生(sheng)大量的(de)氣泡，當(dang)壓強(qiang)從頭升高時，這些氣泡會在(zai)(zai)瞬間(jian)決裂，從而在(zai)(zai)液(ye)(ye)體(ti)中發(fa)(fa)生(sheng)沖(chong)擊波(bo)(bo)。沖(chong)擊波(bo)(bo)會將固體(ti)外表(biao)的(de)油污剝離。超(chao)聲(sheng)(sheng)波(bo)(bo)清洗(xi)用(yong)(yong)的(de)液(ye)(ye)體(ti)一般采用(yong)(yong)酒精或(huo)丙酮。通過超(chao)聲(sheng)(sheng)波(bo)(bo)清洗(xi)的(de)部(bu)件放到(dao)大氣中后，酒精或(huo)丙酮會馬上蒸騰，不會在(zai)(zai)部(bu)件外表(biao)留下水垢(gou)。
